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欧宝娱乐在线:南京大学电子束直写制版机、激光直写制版机、ICP化合物资料等离子体刻蚀体系揭露招

发布时间:2021-08-26 03:17:07 来源:欧宝娱乐在线游戏 作者:ob欧宝体育app

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  江苏省设备收购世界招标中心受南京大学托付,依据《中华人民共和国政府收购法》等有关规定,现对电子束直写制版机、激光直写制版机、ICP化合物资料等离子体刻蚀体系进行揭露招标,欢迎合格的供货商前来招标。

  扼要标准: 电子枪:电子束形状呈高斯波束;热场发射电子束源的加快电压能够到达100 kV或以上,且加快电压可依据需求进行调整;

  扼要标准:可完成最小线包 ICP化合物资料等离子体刻蚀体系 1套 预算金额:人民币230万元

  具有安稳牢靠的工艺性能、宽广的工艺窗口和杰出的工艺兼容性,首要用于150mm晶片(可兼容直径150mm晶片或以下尺度样品)的各向异性刻蚀;快速切换工艺气体,可进行纳米结构和低损害刻蚀;